1、水溫，溫度越低，溶解度也大。水溫超過40攝氏度，臭氧分解速率就很快。

2、水質，溫度一定情況下，純水中臭氧的溶解度較高。

3、溶解方式，臭氧的溶解度雖然是氧氣的10幾倍。如果溶解不充分，臭氧濃度也是上不去的，但水中溶解的臭氧還是在衰減的。

4、混合效率，臭氧氣體的濃度和混合裝置的混合效率有關，臭氧濃度越高，臭氧的溶解度越高。在處理水量、水溫、臭氧濃度都一樣的前提下混合效率越高，臭氧溶解度越大。臭氧是不易溶解于水的，需要通過強制加壓的方式把臭氧氣體打入水中（例如：射流器、汽水混合泵，曝氣，以上混合效率最好的混合泵在高濃度臭氧前提下也就70%，也就是說還有最少30%左右的臭氧是混不進水中的）。